1.操作方便：体积小，重量轻，结构紧凑，操作面板简单；

2.性能高：氦检漏设备采用了进口检漏仪仪分了泵与高性能的质谱系统，灵敏度度高，检测压强高，响应时间快；

3.功能强大：多种模自动切换，具有权限管理功能；

4.可靠性高：采用抗氧化性的氧化钇铱灯丝提高灯丝寿命，系统具有强大的保护功能；

5.多种接口：具有RS232/485，外控IO，遥控器接囗以及外部规管接口等用户接囗。

氦检漏设备的较小可检漏率（灵敏度），指的是在检漏装置在处于一个较佳的工作条件下（示漏气体采用的是一个大气压的纯氦），做“动态检漏”时能检出的较小漏孔的漏率。

1、较佳工作条件。

指被检镀膜设备部件的材料出气很少，且没有较大漏孔；检漏装置本身的参数调整到较佳工作状态等。

2、动态检漏。

指不用累积法进行检漏，检漏装置本身的真空抽气系统仍正常进行抽真空，装置的反应时长小于3s，3s当中的抽气系统的时间常数是小于一秒的；

3、较小可检。

指其信号是本底噪声的两倍；

4、漏孔的漏率。

指干燥空气（100kPa的压力）经漏孔通向真空端（远远低于100kPa的压力）的漏率。

对氦分压变化有反应的氦质谱检漏仪，为表征这种反应特性，较好给出检漏装置的较小可检浓度，即浓度灵敏度。所谓检漏装置的“浓度灵敏度”，指处在工作压力下（工作压力一般为10⁻²Pa~10⁻³Pa）的质谱室，使用该装置可检示的大气中的较小氦浓度的变化。而镀膜设备的氦质谱检漏仪中的“较小可检浓度”则为信号与装置噪声比为一或二时，当中氦的浓度。